產(chǎn)品分類(lèi)
Product CategoryCIF-Spin Processor轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源 設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內碳氫化合物的清洗。
CIF 推出的中試生產(chǎn)型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶(hù)和工業(yè)級客 戶(hù)而設計的等離子體表面處理設備。配置豐富, 且真空腔體里可分層, 適合大多數生產(chǎn)場(chǎng)景清洗,活化、刻蝕等應用。設備可在嚴苛環(huán)境下 穩定運行,產(chǎn)品性能穩定,樣品處理重復性、一致性好。
烤膠機是一種控溫加熱 設備。主要用于半導體硅片, 載玻片,晶片,基片,ITO 導 電玻璃等工藝的制版的表面涂 覆后薄膜烘干、固化。
Spin Coater勻膠機進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉/分左右)旋轉的同時(shí)進(jìn)行滴膠,“動(dòng)態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi),減少光刻膠的浪費,采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個(gè)基片表面。尤其是當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用,不會(huì )產(chǎn)生針孔。
CIF 推出的旋涂機系列產(chǎn)品轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。
紫外臭氧清洗機(UVO),是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設備,能快速去除大多數無(wú)機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。
CIF專(zhuān)為處理粉體如粉狀、顆粒狀材料樣品而設計的粉體專(zhuān)用等離子清洗機,可以高效率地處理微細的甚至分子級別的超細粉體材料,改變傳統真空等離子清洗機無(wú)法處理粉體樣品的問(wèn)題。
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