產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  采用閉環(huán)控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長(cháng)，保證勻膠均勻。

◆  7 寸全彩中英文互動(dòng)操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配 10 個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設置） ，可 選配 20 個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設置 10 個(gè)勻膠梯度階段，最多 100 個(gè)階段。

◆  內置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。

◆  多重安全保護電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開(kāi)傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗人員安全。

◆  樣品托盤(pán)卡口和樣品托盤(pán)之間三重密封安全保護，有效降低電機進(jìn)膠的風(fēng)險。

◆  一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂方式。

◆  符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤(pán)設計，取放樣品更方便。

◆  不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤(pán)采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器 在苛刻條件下仍能正常運行。

◆  上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

◆  可選氮氣吹掃、氮氣保護，自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

◆  適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

 技術(shù)參數