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Spin Coater勻膠機進(jìn)行滴膠就是簡(jiǎn)單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應根據光刻膠的粘度和基片的大小來(lái)確定。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉/分左右)旋轉的同時(shí)進(jìn)行滴膠,“動(dòng)態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開(kāi),減少光刻膠的浪費,采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個(gè)基片表面。尤其是當光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用,不會(huì )產(chǎn)生針孔。
CIF 推出的旋涂機系列產(chǎn)品轉速穩定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結構緊湊實(shí)用,為實(shí)驗室提供了理想的解決方案。
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