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英國Ossila-Spin Coater

簡(jiǎn)要描述：英國Ossila-Spin Coater操作簡(jiǎn)單，方便實(shí)用，旋涂均勻，結構小巧緊湊，為實(shí)驗室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng )新設計的非真空卡盤(pán)式旋涂吸盤(pán)，無(wú)需真空泵或充氮氣，就能達到很好的旋涂效果?？蓪Υ笮〔煌幐竦幕亩伎蛇M(jìn)行旋涂，尤其是對超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時(shí)同樣能達到較好的旋涂效果。不會(huì )出現真空吸盤(pán)旋涂較薄的基材襯底翹曲現象，影響涂層的均勻性。

  • 產(chǎn)品型號：L20001
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2024-07-03
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：2061

詳細介紹

品牌Ossila/歐西拉價(jià)格區間5萬(wàn)-10萬(wàn)
產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,食品,生物產(chǎn)業(yè),農業(yè)

英國Ossila-Spin Coater

 

Spin Coater技術(shù)性能

  • 可在手套箱和通風(fēng)廚內使用，基座面積僅為22.5x17cm。
  • 無(wú)需真空泵、充氮氣，節省保養維護費用。
  • 創(chuàng )新設計非真空卡盤(pán)式吸盤(pán)，基材只需放置在卡盤(pán)式旋涂托盤(pán)適當位置，無(wú)需抽真空，就能達到較好的旋涂效果。
  • 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面，堅固的不銹鋼外殼，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤(pán)，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運行。
  • 采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制，10個(gè)用戶(hù)自定義協(xié)議，每個(gè)協(xié)議下可設置10個(gè)程序，每個(gè)程序多50個(gè)步驟。
  • 內置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。
  • 電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證運行安全。
  • 轉速穩定性：<2%。
  • 轉速：120-6000rpm。
  • 定時(shí)器：1-1000秒。
  • 電源：DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
  • 尺寸：220x170x132mm。
　　Spin Coater用于晶片基底材料的表面光刻膠涂覆。勻膠機由樣品臺、滴膠裝置和空心電動(dòng)機組成，其工作原理是，通過(guò)在樣品臺上產(chǎn)生負壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺上，光刻膠液滴注在基底材料的表面，通過(guò)準確控制電動(dòng)機的旋轉速度，以此來(lái)改變離心力的大小，同時(shí)通過(guò)控制膠液的流量來(lái)達到制備薄膜所需的厚度。

 

Spin Coater

 

　　勻膠機在旋涂過(guò)程中會(huì )出現邊緣效應，這是由于在旋涂的過(guò)程中溶劑的揮發(fā)導致表面和邊界處光刻膠的濃度和黏度都增大，從而引起邊緣位置較中心位置要厚一些，因此基片邊緣需要經(jīng)過(guò)去邊處理。去邊處理包括基片正面和背面的化學(xué)去邊處理，以及基片正面的光學(xué)去邊處理。
　　Spin Coater動(dòng)態(tài)滴膠是指基片在旋轉的過(guò)程中將光刻膠滴注到基片的中心位置，通常旋轉速度不宜過(guò)快( 500/min),動(dòng)態(tài)滴膠可以在保證快速地在基片表面將光刻膠鋪開(kāi)的前提下，減少針孔的產(chǎn)生，也可減少光刻膠的使用量。

  • 左：普通旋涂機上有真空密封環(huán)形印跡     右：Ossila非真空式旋涂效果
 

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