簡(jiǎn)要描述:德國SPS-EUROPE勻膠機具有轉速穩定,啟動(dòng)快速,涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn),廣泛應用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。
產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦 |
工作原理
勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
*特征
技術(shù)參數
| SPN150i | SPN200i |
控制方式 | 全彩觸摸屏控制界面 | 全彩觸摸屏控制界面 |
結構材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) |
旋轉速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋轉精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋轉方向 | 順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng) | 順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng) |
加速/減速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) |
旋轉時(shí)間 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范圍 | 160mm 或6"直徑或4"x4"方片 | 260mm 或6"直徑或6"x6"方片 |
腔體直徑 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3個(gè) | 3個(gè) |
真空開(kāi)關(guān) | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |
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