等離子清洗機的應用，起源于20世紀初，隨著(zhù)高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應用越來(lái)越廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位，等離子清洗技術(shù)對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟和人類(lèi)文明影響較大，*電子資訊工業(yè)，尤其是半導體業(yè)與光電工業(yè)。

　　等離子清洗機目前已應用于各種電子元件的制造，可以確信，沒(méi)有等離子清洗機及其清洗技術(shù)，就沒(méi)有今日這么發(fā)達的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外，等離子清洗機及其清洗技術(shù)也應用在光學(xué)工業(yè)、機械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù)，比如說(shuō)光學(xué)元件的鍍膜、延長(cháng)模具或加工工具壽命的抗磨耗層，復合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測器的制造，超微機械的加工技術(shù)、人工關(guān)節、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步，才能開(kāi)發(fā)完成。

　　等離了體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離了子體的裝置是在密封容器中設置兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現一定的真空度，隨著(zhù)氣體越來(lái)越稀薄，分子問(wèn)距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也越來(lái)越長(cháng)，受磁場(chǎng)作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時(shí)會(huì )發(fā)生輝光。等離子體在電磁場(chǎng)內空間運動(dòng)，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。

　　在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì )變成氣相。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(lái)。

　　等離子清洗機采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來(lái)的二次污染。等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時(shí)間的清洗就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時(shí)污染物被真空泵抽走，其清洗程度達到分子級。等離子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在超清洗過(guò)程中等離子清洗器的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應用丁光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫學(xué)、微觀(guān)流體學(xué)等領(lǐng)域。