勻膠旋涂?jì)x的運行可以按基片旋轉速度及膠質(zhì)的變化，分為4個(gè)階段：滴膠，加速旋轉，勻速旋轉以及去邊，其中第3階段勻速旋轉階段是膠質(zhì)涂層厚度和均勻性控制的重要階段。在滴膠前，膠質(zhì)需經(jīng)過(guò)亞微米級別的過(guò)濾處理，否則薄膜有可能形成彗星圖，星狀圖，或產(chǎn)生氣泡。

　　滴膠階段是將膠質(zhì)溶劑沉積在基片上中心位置的過(guò)程?？梢允謩?dòng)滴加，或用配備的自動(dòng)滴膠器滴加。一般而言，自動(dòng)滴膠方式由于是自動(dòng)機械化操作，薄膜的厚度，均勻性，及可重復性都很好，并且也可以減少易揮發(fā)的毒性氣體與身體接觸。而手動(dòng)滴膠是人工操作，適合要求不高的薄膜制備。

　　勻膠旋涂?jì)x選購時(shí)需要注意的幾個(gè)細節：

　　1、旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能準確標定實(shí)時(shí)的轉速。進(jìn)口的勻膠機雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒(méi)有國際標準認定。

　　2、真空吸附系統的構造

　　真空泵一定要無(wú)油的，壓力標定準確，國內生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì )讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。用過(guò)國產(chǎn)勻膠機的客戶(hù)常常會(huì )關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì )開(kāi)始旋轉。

　　3、材質(zhì)的選擇

　　對于半導體化工行業(yè)的應用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類(lèi)化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà)，將會(huì )導致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。