等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現一定的真空度，隨著(zhù)氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(cháng)，受電場(chǎng)作用，等離子清洗機發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，等離子清洗機在任何暴露的表面引起化學(xué)反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應生成氣體，從而達到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿(mǎn)足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì )發(fā)出輝光，故稱(chēng)之為輝光放電處理。
等離子清洗機優(yōu)勢
一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線(xiàn)的處理效率；
二、等離子清洗使得用戶(hù)可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問(wèn)題； 三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì )產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
四、采用無(wú)線(xiàn)電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線(xiàn)不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；
六、等離子清洗機需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過(guò)程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛生；
八、等離子清洗機可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無(wú)論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物）都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進(jìn)行部分清洗；
九、等離子清洗機在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著(zhù)力等，這在許多應用中都是非常重要的。
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